纯净的NF3气体是一种无色无味的气体爱游戏百家乐，当混入一定量的杂质气体后颜色发黄爱游戏百家乐爱游戏百家乐爱游戏百家乐爱游戏百家乐，同时会有发霉或刺激性气味。NF3气体不可燃爱游戏百家乐爱游戏百家乐，但能助燃爱游戏百家乐。当温度超过350℃时爱游戏百家乐爱游戏百家乐，三氟化氮气体会缓慢分解爱游戏百家乐，分解时产生强氧化性氟，因此爱游戏百家乐，在高温下它是一种强氧化剂爱游戏百家乐爱游戏百家乐。

危险性类别：第2.3类有毒气体，在空气中的最高允许含量为29mg/m3。 

产品纯度: 99.99%~99.995%

 产品包装:40L专用钢瓶;阀门：CGA330爱游戏百家乐爱游戏百家乐、CGA640

 产品用途

三氟化氮是用作氟化氢－氟化气高能化学激光器的氟源，在h2-O2 与F2之间反应能的有效部分（约25％）可以以激光辐射释放出爱游戏百家乐，所HF-OF激光器是化学激光器中最有希望的激光器爱游戏百家乐爱游戏百家乐。三氟化氮是微电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体爱游戏百家乐，对硅和氮化硅蚀刻爱游戏百家乐爱游戏百家乐，采用三氟化氮比四氟化碳和四氟化碳与氧气的混合气体有更高的蚀刻速率和选择性，而且对表面无污染爱游戏百家乐，尤其是在厚度小于1.5um的集成电路材料的蚀刻中爱游戏百家乐爱游戏百家乐爱游戏百家乐，三氟化氮具有非常优异的蚀刻速率和选择性爱游戏百家乐爱游戏百家乐，在被蚀刻物表面不留任何残留物，同时也是非常良好的清洗剂爱游戏百家乐爱游戏百家乐爱游戏百家乐。随着纳米技术的发展和电子工业大规模的发展技术爱游戏百家乐爱游戏百家乐，它的需求量将日益增加。 

注意事项

如遇有NF3气体泄露爱游戏百家乐，工作人员要马上撤离泄漏污染区爱游戏百家乐，并尽可能采取措施阻止NF3气体的进一步泄露爱游戏百家乐。如有工作人员中毒，应立即送往医院救治爱游戏百家乐。泄露现场要尽快处理爱游戏百家乐，处理泄露现场的工作人员必须配戴必要的防毒面具爱游戏百家乐爱游戏百家乐，最好是自给正压式呼吸器爱游戏百家乐。泄露现场经检测无危害气体后方可进入工作人员，泄露容器必须经仔细检查爱游戏百家乐爱游戏百家乐、维修或妥善处理好后方可继续使用爱游戏百家乐爱游戏百家乐。NF3气瓶应储存于阴凉爱游戏百家乐、通风仓库内，仓库温度不宜超过30℃爱游戏百家乐。NF3气瓶应远离火种爱游戏百家乐、热源爱游戏百家乐、防止阳光直射爱游戏百家乐，与还原剂爱游戏百家乐、易燃或可燃物等分开存放爱游戏百家乐。NF3气瓶在搬运时要轻装爱游戏百家乐、轻卸爱游戏百家乐，防止钢瓶及附件破损爱游戏百家乐。NF3气瓶的运输按危险品运输。运输时用气瓶固定架将NF3气瓶固定好爱游戏百家乐，用汽车公路运输或用轮船集装箱运输爱游戏百家乐爱游戏百家乐。